Festo VEFC Massendurchflussregler: Präzise Steuerung inerter Gase

Massendurchflussregler Inerte Gase präzise steuern

24.09.2024 Von Festo 1 min Lesedauer

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Festo SE & Co. KG

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Ruland Engineering & Consulting GmbH

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Der Massendurchflussregler VEFC von Festo steuert inerte Gase präzise. Durch die Piezotechnologie ist er kompakt und zeichnet sich außerdem durch ein gutes Preis-Leistungs-Verhältnis aus.

Durch die Piezotechnologie ist der Massendurchflussregler VEFC flexibel einsetzbar und braucht wenig Platz. (Bild: Festo) — Durch die Piezotechnologie ist der Massendurchflussregler VEFC flexibel einsetzbar und braucht wenig Platz.
(Bild: Festo)

Der Massendurchflussregler VEFC von Festo ist nach Angaben des Herstellers einer der kompaktesten am Markt – bei einem Durchfluss von 200 l/min. Dank Digitalisierung bleibt der Durchfluss konstant. Damit muss das dynamische, direkt gesteuerte Piezoventil für inerte Gase nicht von Hand nachgestellt werden. Die Durchflussraten und -einstellungen lassen sich in Millisekunden genau und manipulationssicher anpassen. Anwender sind damit flexibel in ihren Fertigungsprozessen. Mit dem Massendurchflussregler kann der Prozess durch zeitgleiche Kenntnis von Durchfluss und Ausgangsdruck kontinuierlich überwacht werden. Prädestiniert ist die Komponente für die Nahrungsmittelherstellung und für andere Anwendungen im Maschinenbau, bei denen Schutzgas benötigt wird, beispielsweise in der Elektronikfertigung.

Digitale Massedurchflussregler wie der SLAMf verfügen über native Funktionen, welche die gesamte Produktion sicherer machen und ihre Performance steigern. Er kann beispielsweise eine Vielzahl von Daten zu sammeln, welche die Abläufe und kritischen Prozesse innerhalb der Produktion optimieren. (Bild: Brooks Instrument)

Zuverlässiger Schutz von Wafern

Speziell in der Semicon-Industrie muss der Massenstrom von inerten Gasen wie Stickstoff zuverlässig geregelt werden, um Defekte auf Wafern zu vermeiden. Mit dem Fokus auf inerte Gase ohne Medientrennung erweist sich der neue Massendurchflussregler bei der Regelung von Stickstoff in Loadports oder EFEMs als günstige Alternative zu anderen Lösungen am Markt.

Mit dem VEFC-Massendurchflussregler im Loadport lassen sich unterschiedliche Durchflüsse in den einzelnen Purge-Steps regeln. Bei Pre-Blowing, Pre-Purge, Process-Purge und Post-Purge gewährleistet das Bauteil, dass nur die unbedingt notwendige Stickstoffmenge verbraucht wird. So sparen Betreiber Stickstoff und verkürzen die Prozesszeit, bis die trockene Schutzgasatmosphäre erreicht ist.

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